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超純水（UPW）設(shè)施以及水清洗系統(tǒng)的顆粒監(jiān)視和控制, 對(duì)越來(lái)越多類(lèi)型的制造工業(yè)愈來(lái)愈重要. 例如,諸如平板顯示器（FPD）和硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器（HDD）部件的精密制造技術(shù)的改進(jìn)要求能測(cè)出過(guò)程液體中小到0.1μm的污染物顆粒。
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